Diamond Plus系列高精度正余弦解析伺服驅(qū)動器
高精度正余弦解析產(chǎn)品，用于普通模擬量正余弦編碼器輸入，控制直線電機、DD馬達、XYR多自由度平臺、直線電機模組，實現(xiàn)單軸5nm、耦合精度20nm超高位置定位精
高精度正余弦解析產(chǎn)品，用于普通模擬量正余弦編碼器輸入，控制直線電機、DD馬達、XYR多自由度平臺、直線電機模組，實現(xiàn)單軸5nm、耦合精度20nm超高位置定位精
高精度正余弦解析產(chǎn)品，用于普通模擬量正余弦編碼器輸入，控制直線電機、DD馬達、XYR多自由度平臺、直線電機模組，實現(xiàn)單軸5nm、耦合精度20nm超高位置定位精度等場景，可普遍運用于光刻機、光耦合、晶圓加工、晶圓檢測、高精度光學(xué)檢測等領(lǐng)域
